SMC最新推出了一款平行密封型门阀XGTP系列。产品采用平行密封结构，可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔室与传输腔室之间的密封。
产品参数
◇ 长寿命：300万次（常温时）
◇ 低发尘：发尘量减少到1/5以下（与旧型号相比）
◇ 省气：耗气量减少22%
◇ 轻量：14kg（盒式）
◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封构造
▼门上升、下降的直线动作和门开闭的夹紧采用平行密封（L motion）构造，降低了摩擦系数，可大幅减少发尘量并延长使用寿命。
应用场合 ▼半导体加工过程中，针对各工艺腔室之间的隔离。
