控制型分离器-产品特点


■省空间:高37mm× 宽30mm


高:降低57mm(60%)



可设置于狭小的空间


■双AC方式 IZT42系列(电位振幅降低的规格)



采用SMC独有的双AC方式,可降低电位振幅。

即使是对静电敏感的设备,也可防止静电放电(ESD)的破坏,去除静电。
即使近距离设置也可降低目标工件的电位振幅。




双AC 方式 IZT42

同时释放+离子和-离子,+/-离子均等地到达工件,因此电位振幅较小。

AC 方式 IZT40/IZT41

+离子和-离子以带状、交替地到达工件,因此除电效率提高。



玻璃基板的除静电电路基板的除静电
从平台上拾取时,防止由剥离带电导致的经典破坏・防止元件因放电而损坏
・防止尘埃附着


■AC 方式系列 IZT41 系列

带自动平衡功能

■标准型 IZT40 系列

操作简单,接通电源即可使用




可选AC适配器

(仅可在一根棒体时使用AC适配器)





■自由的布局

控制器和高压电源组件可分离安装



1 台控制器最多可连接4根棒体


可选择供气口:右侧/左侧/两侧可选择棒体/电缆长度

■维护性提高


采用低维护构造的电极针卡盘

从电极针周围排出压缩空气,可使电极针不易变脏

2 种电极针材质
钨/单晶硅(硅晶片用)


可选高速除静电卡盘、节能除静电卡盘


采用插头连接方式,插拔简单

只可更换棒体




■安全功能


防止电极针卡盘掉落的功能

两步锁定

防掉盖

可更有效地防止电极针卡盘掉落

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